Микроскоп РЭМ-106

Растровый электронный микроскоп РЭМ-106 является исследовательским измерительным прибором.

Назначение

Использование микроскопа позволяет выполнять исследования в различных научно-промышленных областях, в том числе:

• материаловедческих,
• нанотехнологических,
• физических,
• химических,
• геологических,
• микроэлектронных,
• биологических,
• медицинских и т. п.

В процессе исследований обеспечивается определение линейных размеров объектов в субмикронном диапазоне и массового содержания в них отдельных элементов.

По требованию заказчика микроскоп может быть укомплектован:

• камерой низкого давления,
• ЭДС.

Устройство и работа

Конструкция микроскопа обеспечивает:

• высокую скорость и точность определения линейных размеров,
• реализацию рентгеновского микроанализа, обеспечивающего количественное определение элементарного состава объекта,
• получение высококачественных изображений объектов, обладающих электропроводящими и диэлектрическими свойствами, по электронно-оптической технологии без проведения специальных подготовительных мероприятий (применяются режимы отраженных электронов (ОЭ) и вторичных электронов (ВЭ)),
• виброустойчивость,
• компьютеризированное управление механическими, вакуумными, оптико-электронными и энерго-дисперсионными системами,
• визуализацию, хранение и документирование результатов анализа,
• компьютеризированное определение и отображение параметров рабочего режима.

Также в микроскопе реализована калибровка и поверка с помощью комплекта тестовых образцов:

• оптико-электронного увеличения,
• метрологических параметров,
• разрешения в режимах ВЭ/ОЭ,
• микроаналитической системы.

В конструкции микроскопа имеется:

• вакуумный модуль, функционирующий в высоковакуумном и низковакуумном режиме,
• оптико-электронный модуль, обладающий системой защиты от электромагнитных воздействий,
• линза объектива, оснащенная разделительными диафрагмами.