Источник питания МВ-05

Высокочастотный источник питания МВ-05, который используется для совместной работы с установкой вакуумного напыления ВУП-5М.

Назначение

Устройство предназначено для совместной работы с установкой ВУП-5М, а именно является высокочастотным источником питания магнетрона вакуумной напылительной установки. Применение МВ-05 расширяет функциональные возможности ВУП-5М, позволяя получать высококачественные плёнки из металлов, полупроводников, сплавов.

Но главное, что с его использованием становится возможным распыление мишеней из диэлектриков, используя штатный магнетрон установки. Применяется источник питания с ВУП-5М в условиях исследовательских лабораторий институтов, проводящих опыты и изучающих физику, химию процессов, происходящих в плёночных структурах, которые образуются в вакууме, разрабатывающих новые технологии в микроэлектронике.

Конструкция

Источник МВ-05 производится в металлических прямоугольных корпусах и имеет настольное исполнение. Источник питания состоит из

• генератора,
• соединительных кабелей,
• согласующего устройства.

Генератор предназначен для выработки высокочастотного напряжения заданной мощности, а согласующее устройство применяется для согласования выходных сопротивлений магнетрона и высокочастотного генератора методом трансформации, что позволяет побиться оптимальной работы магнетрона и всей системы в целом. Соединение генератора и согласующего устройства производят с помощью кабелей.

Применение МВ-05 позволяет использовать установку ВУП-5М с её штатным магнетроном для получения сложных плёночных структур высокого качества из разных материалов в течение одного технологического цикла без разгерметизации.